[发明专利]一种防着板及蒸镀设备有效
申请号: | 201810871498.7 | 申请日: | 2018-08-02 |
公开(公告)号: | CN109097739B | 公开(公告)日: | 2021-04-30 |
发明(设计)人: | 谢虎;郭书鹏;黄俊淞 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人: | 申健 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种防着板及蒸镀设备,涉及蒸镀技术领域,可解决相关技术中的防着板因对蒸镀材料的粘附量较小而影响产品生产效率的问题。该防着板包括本体,所述本体内设有空腔,所述空腔连通所述本体用于粘附蒸镀材料的外表面,所述空腔的内表面用于粘附所述蒸镀材料。本发明用于阻挡蒸镀材料粘附到蒸镀腔室的腔壁上。 | ||
搜索关键词: | 一种 防着 设备 | ||
【主权项】:
1.一种防着板,包括本体,其特征在于,所述本体内设有空腔,所述空腔连通所述本体用于粘附蒸镀材料的外表面,所述空腔的内表面用于粘附所述蒸镀材料。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司,未经京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201810871498.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种陶瓷镜子及制作方法
- 下一篇:一种具有防腐蚀功能的真空镀膜设备
- 同类专利
- 专利分类