[发明专利]母板曝光方法有效
| 申请号： | 201810873781.3 | 申请日： | 2018-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN109116593B | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 应见见 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种母板曝光方法。该母板曝光方法通过将对应每一行液晶面板及与每一行液晶面板相邻的非面板区的光罩中的左侧曝光区设置成对应液晶面板右侧图案区，右侧曝光区设置成对应液晶面板左侧图案区，中心曝光区设置成对应液晶面板中心图案区及与每一行液晶面板相邻的非面板区，可以通过所述光罩同时对每一行液晶面板及与每一行液晶面板相邻的非面板区进行曝光，通过一次曝光同时完成液晶面板及与该液晶面板相邻的非面板区的曝光，不需要通过额外的曝光动作单独曝光非面板区，可以减少光罩曝光次数，节省产能，提高生产效率，降低面板生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 母板 曝光 方法 | ||
【主权项】：
1.一种母板曝光方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤S1、提供母板(10)，所述母板(10)包括面板区(11)及与所述面板区(11)相邻的非面板区(12)；所述面板区(11)包括呈阵列排布的多个液晶面板(13)；每一液晶面板(13)均包括依次相连的左侧图案区、中心图案区及右侧图案区；步骤S2、对应每一行液晶面板(13)及与每一行液晶面板(13)相邻的非面板区(12)均提供光罩(20)，所述光罩(20)包括对应液晶面板(13)右侧图案区的左侧曝光区(23)、对应液晶面板(13)中心图案区的至少两个中心曝光区(22)以及对应液晶面板(13)左侧图案区的右侧曝光区(21)；所述中心曝光区(22)还同时对应与每一行液晶面板(13)相邻的非面板区(12)；步骤S3、通过所述光罩(20)同时对每一行液晶面板(13)及与每一行液晶面板(13)相邻的非面板区(12)进行曝光，通过一次曝光同时完成液晶面板(13)及与该液晶面板(13)相邻的非面板区(12)的曝光。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市华星光电半导体显示技术有限公司，未经深圳市华星光电半导体显示技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810873781.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种新型LB胶组装治具及其使用方法
- 下一篇：一种四轴高精度压头
