[发明专利]衍射光学元件及计测装置

摘要

本发明提供一种衍射光学元件及计测装置，该衍射光学元可将光斑均匀地分布到较大区域，具有：第1衍射光学部，对入射的光产生二维的衍射光；第2衍射光学部，对入射的光产生二维的衍射光，使由于光入射到上述第1衍射光学部而产生的衍射光入射到上述第2衍射光学部，从上述第2衍射光学部产生衍射光，所述衍射光学元件的特征在于，上述第1衍射光学部中的衍射角度为θ1，产生的衍射光的光斑的数量为k1，上述第2衍射光学部中的衍射角度为θ2，产生的衍射光的光斑的数量为k2时，θ1≥θ2且k1≥k2，或者θ1≤θ2且k1≤k2，通过提供该衍射光学元件来解决上述课题。

主权项

1.一种衍射光学元件，多个基本单元二维且周期性地排列，对入射的光产生二维的衍射光，其特征在于，通过使上述衍射光投影到平面上，而在上述平面上的规定范围内以随机分布或者分散型分布的方式产生多个光斑，设上述规定范围为四边形时，将上述规定范围均匀地分割为大致同一形状的Nx×Ny个以上的区域，设上述分割的区域中处于上述规定范围的中心区域的区域的上述光斑的数量为Mc、处于上述规定范围的4角的区域的上述光斑的数量的平均值为Mo、照射到上述规定范围的最大衍射角度为θd时，Nx及Ny均为3以上的奇数，且15°≤θdMo/Mc>‑0.02173×θd+1.314。