[发明专利]提高微机电系统-槽孔板对位精准度的方法

摘要

本发明公开了一种提高微机电系统‑槽孔板对位精准度的方法，微机电系统‑槽孔板包括工作片，工作片上设有工作片成型线，该工作片的四角位于工作片成型线外钻有定位孔，该工作片位于工作片成型线内加工有器件槽，加工工作片成型线内的器件槽时，在工作片位于工作片成型线外部的四角同时加工四个大小一致的对位槽。该提高微机电系统‑槽孔板对位精准度的方法首先降低微机电系统‑槽孔板类产品因线路曝光对位精准度超标引起的退洗率，提升生产效率，减少人力和资源浪费，降低产品制作成本；提高微机电系统‑槽孔板类产品的对位精准度，提高此类板件的成品良率，增加企业收益；能满足微机电系统‑槽孔板类产品对位精准度要求严格的客户要求，增加企业竞争力。

主权项

1.一种提高微机电系统‑槽孔板对位精准度的方法，所述微机电系统‑槽孔板包括工作片(1)，所述工作片上设有工作片成型线(2)，该工作片的四角位于工作片成型线外钻有定位孔(3)，该工作片位于工作片成型线内加工有器件槽(4)，其特征在于：加工所述工作片成型线内的器件槽(4)时，在所述工作片位于工作片成型线外部的四角同时加工四个大小一致的对位槽(5)。