[发明专利]一种分体式窗口CMP抛光垫的制备方法及CMP抛光垫在审
| 申请号： | 201810877758.1 | 申请日： | 2018-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN108818300A | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 宋思琪 | 申请（专利权）人： | 成都时代立夫科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/26 | 分类号： | B24B37/26 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 蒋秀清;李春芳 |
| 地址： | 610200 四川省成都市*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种分体式窗口CMP抛光垫的制备方法，包括对基材雕刻沟槽和一个放置窗口材料的窗口孔洞，然后将基材和衬底通过背胶贴合，再用衬底冲压模具在基材的窗口孔洞位置将衬底冲压出一个衬底孔洞，同时形成窗口支撑块，再用冲压机和窗口材料冲压模具对窗口材料进行冲压，得到成型的窗口材料，之后在窗口支撑块上涂抹一层底涂剂，最后将成型的窗口材料放在窗口孔洞位置，贴于窗口支撑块上；及一种利用此法制备的CMP抛光垫。相较于切片一体化窗口，该后期贴合窗口的方式，使得在制造过程中材料之间不会相互影响，可以解决固化后基材的密度分布不均匀的问题，降低由于温度不均匀而导致拉伸强度的波动，还可有效的降低基材报废率，节约生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 窗口材料 衬底 基材 抛光垫 制备 孔洞 冲压模具 孔洞位置 不均匀 分体式 冲压 贴合 成型 支撑 节约生产成本 密度分布 制造过程 报废率 冲压机 底涂剂 后基材 抛光 背胶 拉伸 切片 固化 涂抹 雕刻 一体化 | ||
【主权项】：
1.一种分体式窗口CMP抛光垫的制备方法,其特征在于，包括以下步骤：(1)取基材(1)并对基材(1)雕刻沟槽(6)；(2)取衬底(4)并在衬底(4)底部贴一层背胶B(9)；(3)在雕刻沟槽(6)的基材(1)上雕刻出一个放置窗口材料(8)的窗口孔洞(2)；(4)将雕刻了窗口孔洞(2)的基材(1)和贴了背胶B(9)的衬底(4)通过背胶A(3)贴合，再用衬底冲压模具在基材(1)的窗口孔洞(2)位置将衬底(4)冲压出一个衬底孔洞(5)，同时在窗口孔洞(2)的底部两侧形成两个窗口支撑块(7)；(5)另取窗口材料并用冲压机和窗口材料冲压模具对窗口材料进行冲压，得到成型的窗口材料(8)；(6)在窗口支撑块(7)上涂抹一层底涂剂；(7)将成型的窗口材料(8)放在窗口孔洞(2)位置，贴于窗口支撑块(7)上，得到CMP抛光垫。
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