[发明专利]一种智能沉积系统在审
| 申请号： | 201810879342.3 | 申请日： | 2018-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN108950486A | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 姜丽 | 申请（专利权）人： | 台州市皓仔邦工业设计有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28;C23C14/54;C23C14/04;C23C14/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 318020 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种智能沉积系统，包括控制组件、扫描模组、激光源、一驱动机构、至少两个第一反射镜、真空室、至少两个用于固定不同的源材料靶材的第一固定平台以及用于沉积复合材料的基片；所述第一固定平台以及基片均设置于所述真空室内，所述至少两个第一固定平台分别与所述基片的预设区域相对，所述真空室设置有通光部，所述激光源与所述第一反射镜的出光方向呈预设夹角；所述驱动机构与所述激光源连接以驱动所述激光源移动，使得所述激光源发出的激光选择性地射入至所述至少两个第一反射镜中的一个第一反射镜，所述第一反射镜用于将激光通过所述通光部射入所述真空室中的对应所述第一固定平台处。 | ||
| 搜索关键词： | 反射镜 激光源 固定平台 真空室 沉积系统 驱动机构 通光部 射入 沉积复合材料 激光选择 控制组件 扫描模组 预设夹角 预设区域 智能 源材料 靶材 激光 室内 驱动 移动 | ||
【主权项】：
1.一种智能沉积系统，其特征在于包括控制组件、扫描模组、激光源、一驱动机构、至少两个第一反射镜、真空室、至少两个用于固定不同的源材料靶材的第一固定平台以及用于沉积复合材料的基片；所述第一固定平台以及基片均设置于所述真空室内，所述至少两个第一固定平台分别与所述基片的预设区域相对，所述真空室设置有通光部，所述激光源与所述第一反射镜的出光方向呈预设夹角；所述驱动机构与所述激光源连接以驱动所述激光源移动，使得所述激光源发出的激光选择性地射入至所述至少两个第一反射镜中的一个第一反射镜，所述第一反射镜用于将激光通过所述通光部射入所述真空室中的对应所述第一固定平台处；所述基片上与所述第一固定平台相对的一面贴有掩模；所述掩模上设置有多个呈矩阵分布的沉积孔；所述控制组件与所述激光源、所述至少两个驱动机构以及所述扫描模组分别通信连接，所述扫描模组将检测到的厚度分布信息上传给所述控制组件，所述第一固定平台内部设置有加热组件，所述加热组件包括多个呈矩形阵列分布的加热元件，该多个加热元件分别与该多个沉积孔相对，所述控制组件用于根据所述厚度分布信息控制对应的加热组件的各个加热元件以对应的功率进行加热，其中，复合材料沉积的平均厚度大的基片对应的加热元件的加热功率大于复合材料沉积的平均厚度小的基片。
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