[发明专利]一种刻蚀液回收利用的装置有效

专利信息
申请号: 201810882352.2 申请日: 2018-08-03
公开(公告)号: CN109004066B 公开(公告)日: 2020-06-23
发明(设计)人: 王丽婷;刘海涛;张会学 申请(专利权)人: 中节能太阳能科技(镇江)有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 代理人: 赵志远
地址: 212000 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供一种刻蚀液回收利用的装置,属于刻蚀工艺槽中废液的二次利用技术领域。刻蚀刻蚀液回收利用的装置,包括刻蚀工艺槽、刻蚀液供应储存箱、HF供应储存箱、纯水供应储存箱和制绒工艺槽。刻蚀工艺槽与刻蚀液供应储存箱连通,刻蚀液供应储存箱、HF供应储存箱和纯水供应储存箱均与制绒工艺槽连通。通过此刻蚀液回收利用的装置的设置,能够将刻蚀工艺槽中的废液进行二次利用,用来进行制绒工艺的生产,避免酸溶液的浪费,也能够更加环保。
搜索关键词: 一种 刻蚀 回收 利用 装置
【主权项】:
1.一种刻蚀液回收利用的装置,其特征在于,包括刻蚀工艺槽、刻蚀液供应储存箱、HF供应储存箱、纯水供应储存箱和制绒工艺槽;所述刻蚀工艺槽与所述刻蚀液供应储存箱连通,所述刻蚀液供应储存箱、所述HF供应储存箱和所述纯水供应储存箱均与所述制绒工艺槽连通。
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