[发明专利]一种可防御共振的MEMS传感器及其防御共振方法在审
申请号: | 201810883834.X | 申请日: | 2018-08-06 |
公开(公告)号: | CN110806221A | 公开(公告)日: | 2020-02-18 |
发明(设计)人: | 涂岩恺;罗明宇;吕伟煌 | 申请(专利权)人: | 厦门雅迅网络股份有限公司 |
主分类号: | G01D5/24 | 分类号: | G01D5/24;G01P3/44;G01P15/125 |
代理公司: | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218 | 代理人: | 何家富 |
地址: | 361000 福建省厦门市*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明涉及一种可防御共振的MEMS传感器及其防御共振方法,所述传感器包括可变电容、变节距弹性元件、量化模块和电流补偿模块,还包括分别与所述变节距弹性元件的两端电性连接的弹性元件输入引脚和弹性元件输出引脚,所述弹性元件输入引脚和弹性元件输出引脚之间接收刚性控制电流,以改变所述变节距弹性元件的刚性;所述电流补偿模块的输入端接收所述量化模块的量化值,并进行电流补偿后输出,所称补偿是根据所述变节距弹性元件所接收的刚性控制电流的电流值进行对应的补偿,输出最终的补偿后的校正值。本发明采用变节距弹性元件,可以有效的预防共振的发生,保障了数据的安全性,同时采用的电流补偿模块可以确保测量精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 防御 共振 mems 传感器 及其 方法 | ||
【主权项】:
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