[发明专利]引线键合方法和系统在审
| 申请号： | 201810890032.1 | 申请日： | 2018-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN109048028A | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 余定展;郑斌;莫婷;黄德兰;都科;武哲宇;黄肃林 | 申请（专利权）人： | 航天恒星科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K20/00 | 分类号： | B23K20/00;H01L21/60 |
| 代理公司： | 北京善任知识产权代理有限公司 11650 | 代理人： | 孙新国;金杨 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于毫米波收发组件中的引线键合的方法和引线键合系统。该方法包括利用图像识别系统在键合焊盘上选择并且实时校正键合点的位置，以便选定待键合的键合点；以及在对选定的所述键合点进行引线键合过程中，利用气浮隔离装置来隔离键合机与振动源，从而实现在键合过程中对振动的干扰控制。通过本发明的技术方案，可以实现键合点的定位精度控制和键合过程的抗振动干扰控制，从而实现超细间距(通常在40μm以下)的引线键合。 | ||
| 搜索关键词： | 引线键合 键合点 键合过程 图像识别系统 引线键合系统 抗振动干扰 毫米波 干扰控制 隔离装置 键合焊盘 精度控制 实时校正 收发组件 隔离键 振动源 超细 合机 键合 气浮 | ||
【主权项】：
1.一种用于毫米波收发组件中引线键合的方法，包括：利用图像识别系统在键合焊盘上选择并且实时校正键合点的位置，以便选定待键合的键合点；以及在对选定的所述键合点进行引线键合过程中，利用气浮隔离装置来隔离键合机与振动源，从而实现在键合过程中对振动干扰的控制。
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