[发明专利]薄膜体声波谐振器及其制造方法有效
| 申请号： | 201810893030.8 | 申请日： | 2018-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN110829997B | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | 王晓川 | 申请（专利权）人： | 芯知微（上海）电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/17;H03H9/19 |
| 代理公司： | 北京思创大成知识产权代理有限公司 11614 | 代理人： | 张立君 |
| 地址： | 201607 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种薄膜体声波谐振器及其制造方法。在空腔重叠区之内而电极重叠区之外，第一电极片体和第二电极片体分别包含第一震动缓冲条和第二震动缓冲条，可以有效地降低水平方向的刚度(增强柔性)，而较少地影响垂直方向的刚度，针对水平方向沿着电极片传播的水平弹性波，起到一个缓冲作用，从而减少弹性反射波的强度。此外，夹在第一电极片体和第二电极片体之间的压电感应震荡片整体置于空腔重叠区，其边界为不含任何相互平行对边的多边形，不仅消除水平方向成为杂波的附加驻波震荡，也同时最大程度地降低横向寄生波所消耗的能量。相应的制造方法也同时披露。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 声波 谐振器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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