[发明专利]双面连续镀膜的真空蒸镀装置在审

专利信息
申请号: 201810893345.2 申请日: 2018-08-07
公开(公告)号: CN108624861A 公开(公告)日: 2018-10-09
发明(设计)人: 严佐毅;刘文卿 申请(专利权)人: 安徽金美新材料科技有限公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56;C23C14/24
代理公司: 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 代理人: 叶树明
地址: 安徽省淮南市寿县新桥国际产业园新*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了一种双面连续镀膜的真空蒸镀装置,其包括真空腔体、设置在真空腔体内的转向辊机构和两组蒸镀机构,所述两组蒸镀机构上下设置,所述转向辊机构设置两组蒸镀机构的一侧,待蒸镀的薄膜沿一组所述蒸镀机构进入经所述转向辊机构后沿另一组所述蒸镀机构用于连续对薄膜的上下两面进行真空蒸镀,这样,本发明通过设置两组蒸镀机构,以及两组蒸镀机构之间设置转向辊机构,能够实现单次工作同时完成在薄膜的两面蒸镀导电金属层,本发明获得的薄膜膜面外观良好,无褶皱和镀空线,并且提高生产效率。
搜索关键词: 蒸镀 两组 转向辊 薄膜 真空蒸镀装置 连续镀膜 褶皱 导电金属层 机构设置 上下设置 生产效率 真空腔体 真空蒸镀 真空腔 后沿 空线 膜面 体内
【主权项】:
1.一种双面连续镀膜的真空蒸镀装置,其特征在于,其包括真空腔体(1)、设置在真空腔体(1)内的转向辊机构(2)和两组蒸镀机构(3),所述两组蒸镀机构(3)上下对称设置,所述转向辊机构(2)设置两组蒸镀机构(3)的一侧,待蒸镀的薄膜沿一组所述蒸镀机构(3)进入经所述转向辊机构(2)后沿另一组所述蒸镀机构(3)用于连续对薄膜的上下两面进行真空蒸镀。
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