[发明专利]集成线性和角度MEMS加速度计有效
| 申请号： | 201810899768.5 | 申请日： | 2018-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN109387668B | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 张欣 | 申请（专利权）人： | 美国亚德诺半导体公司 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08;G01P15/125 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 张小稳 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及集成线性和角度MEMS加速度计。描述机电系统(MEMS)加速度计。TMEMS加速度计可以被配置成沿一个、两个或三个轴感测线性加速度，并且围绕一个、两个或三个轴感测角度加速度。因此，MEMS加速度计可以用作2轴、3轴、4轴、5轴或6轴惯性加速度计。在一些实施方案中，MEMS加速度计可以包括通过多个系链连接到至少一个锚固件的单个质量块。在其他实施方案中，MEMS加速度计可以包括通过多个系链连接到至少一个锚固件的检验质量块和通过第二多个系链连接到检验质量块的一个或多个穿梭质量块。可以使用电容传感器来感测MEMS加速度计的旋转和线性运动。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 线性 角度 mems 加速度计 | ||
【主权项】：
1.角度和线性加速度计，包括：连接到基板的至少一个锚固件；通过多个系链耦合到所述至少一个锚固件的检验质量块；第一电容器，被配置为响应于所述检验质量块的旋转运动而产生第一感测信号；和第二电容器，被配置为响应于所述检验质量块的线性运动而产生第二感测信号。
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