[发明专利]一种吸气剂薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 201810900184.5 | 申请日： | 2018-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN109136867A | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | 李志平;张鑫;朱华 | 申请（专利权）人： | 李志平 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/35;C23C14/16;C23C14/18 |
| 代理公司： | 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 | 代理人： | 朱亲林 |
| 地址： | 213000 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种吸气剂薄膜的制备方法，属于吸气剂薄膜技术领域。本发明以制备的复合合金作为靶材，预处理过的陶瓷作为接收基片，运用超高真空磁控溅射镀膜系统溅射镀膜，即制得吸气剂薄膜；吸气剂薄膜的单层膜只含有主体层，双层膜同时含有主体层和附着层，附着层的存在提高了主体层的吸气性能；本发明制备的吸气剂薄膜在真空器件中所占有的空间更小；避免真空器件内电器元件发生漏电等不良反应；可以应用于高工作温度的真空器件中；可反复激活，使用寿命较长；还可以制备成不同图案或尺寸，激活温度低，吸气容量大，覆盖度与厚度灵活可控，牢固度高且无颗粒化，并与真空器件生产封装过程的工艺兼容性较好。 | ||
| 搜索关键词： | 吸气剂 制备 薄膜 真空器件 主体层 吸气 附着层 预处理 薄膜技术领域 磁控溅射镀膜 激活 工艺兼容性 超高真空 电器元件 封装过程 复合合金 溅射镀膜 使用寿命 漏电 单层膜 覆盖度 颗粒化 牢固度 双层膜 靶材 可控 陶瓷 图案 灵活 应用 生产 | ||
【主权项】：
1.一种吸气剂薄膜的制备方法，其特征在于具体步骤为：（1）铝合金经去油水洗后，进行电解抛光，得抛光液，抛光后的铝片经去离子水洗后，得预处理铝合金；以纯锆靶、纯钛靶为靶材，以铝合金为接收源，通过双靶共焦射频反应溅射法沉积在铝合金基体上，在薄膜沉积之前，金属靶材预先经过预溅射清洗，之后进行双靶共焦射频反应溅射沉积，得复合合金；（2）以复合合金为靶材，以预处理陶瓷为基片接收，运用超高真空磁控溅射镀膜系统溅射镀膜，得吸气剂薄膜。
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