[发明专利]刚性微腔体结构件在审
| 申请号： | 201810911421.8 | 申请日： | 2018-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN109060228A | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 尉长虹;解渤 | 申请（专利权）人： | 博脉有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 符莹莹 |
| 地址： | 英属开曼群岛（拉丁美*** | 国省代码： | 开曼群岛;KY |
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| 摘要： | 本发明公开了一种刚性微腔体结构件，包括采用刚性材料制成的板体,所述板体的弹性模量＞2Gpa，所述板体上阵列设置有若干通孔或盲孔，每列的相邻所述通孔或盲孔之间形成支撑梁。通过上述设置，使得采用本申请的刚性微腔体结构件的传感器，可以兼顾到灵敏度高和排列间距小。 | ||
| 搜索关键词： | 结构件 微腔体 板体 盲孔 通孔 弹性模量 刚性材料 灵敏度 支撑梁 传感器 申请 | ||
【主权项】：
1.一种刚性微腔体结构件，其特征在于，包括采用刚性材料制成的板体,所述板体的弹性模量＞2Gpa，所述板体上阵列设置有若干通孔或盲孔，每列的相邻所述通孔或盲孔之间形成支撑梁。
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