[发明专利]液体感测装置及其感测方法有效
| 申请号： | 201810916334.1 | 申请日： | 2018-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN109724629B | 公开（公告）日： | 2022-05-03 |
| 发明（设计）人： | 萧闵铨;陈贞玮;林孟璁 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G01D1/18 | 分类号： | G01D1/18 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 黄艳;刘潇 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种液体感测装置，包括一感测器，被配置以当与液体接触时，在一参数值中产生一变化，其中感测器为线形且可挠曲的，并且被配置以通过一半导体工艺系统内的一路径；以及一控制器，被配置以基于在参数值内的变化产生一警报信号。 | ||
| 搜索关键词： | 液体 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种液体感测装置，包括：一感测器，被配置以当与液体接触时，产生一参数值的变化，其中上述感测器是线形且可挠曲的，并且被配置以通过一半导体工艺系统内的一路径；以及一控制器，被配置以基于在上述参数值内的上述变化产生一警报信号。
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