[发明专利]磨削装置

摘要

提供磨削装置，在对由难磨削材料形成的晶片等进行磨削的情况下，抑制磨具的磨损并且顺畅地磨削。磨削装置包含：工作台(30)，其对被加工物(W)进行保持；磨削单元(7)，其包含安装于主轴(70)的磨削磨轮(74)，其中，磨削磨轮(74)具有利用结合剂(B1)将磨粒(P1)结合而得的磨具(74a)，该磨削装置(1)包含：提供单元(8)，当对被加工物(W)进行磨削时该提供单元至少向磨具(74a)提供磨削水；以及光照射单元(9)，其与工作台相邻地配设，向对工作台(30)所保持的被加工物(W)进行磨削的磨具(74a)的磨削面照射光，光照射单元(9)具有：发光部(91)，其发出光；以及扩散防止壁(94)，其围绕发光部，防止光的扩散。

主权项

1.一种磨削装置，其包含：保持工作台，其对被加工物进行保持；以及磨削单元，其包含主轴和磨削磨轮，该磨削磨轮安装于该主轴而对该保持工作台所保持的被加工物进行磨削，其中，该磨削磨轮具有利用结合剂结合了磨粒而得的磨削磨具，该磨削装置包含：磨削水提供单元，当利用该磨削单元对该保持工作台所保持的被加工物进行磨削时，该磨削水提供单元至少向该磨削磨具提供磨削水；以及光照射单元，其与该保持工作台相邻地配设，向对该保持工作台所保持的被加工物进行磨削的该磨削磨具的磨削面照射光，该光照射单元具有：发光部，其发出该光；以及扩散防止壁，其围绕该发光部，防止该光的扩散。