[发明专利]一种柔性电容式应力传感器芯片的制备方法有效
| 申请号： | 201810923475.6 | 申请日： | 2018-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN108981976B | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 徐海华;吕莹;邱德兴 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14 |
| 代理公司： | 广东恩典律师事务所 44549 | 代理人： | 张绍波 |
| 地址： | 518071 广东省深圳市南山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种柔性电容式应力传感器芯片及其制备方法，其包括柔性、可拉伸的凝胶薄膜，在所述凝胶薄膜内部由下到上依次设置柔性衬底、电极以及纳米材料。本发明所述柔性电容式应力传感器芯片可拉伸性高、生物兼容性好、灵敏度高且可以无缝贴附于人体皮肤表皮。另外本发明所述柔性电容式应力传感器芯片的制备方法简单易实现，具有极高的实用性和应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 电容 应力 传感器 芯片 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.种柔性电容式应力传感器芯片，其特征在于，包括柔性、可拉伸的凝胶薄膜，在所述凝胶薄膜内部由下到上依次设置柔性衬底、电极以及纳米材料。
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