[发明专利]搬运装置

摘要

通过防止基板前端的挠曲，从而防止基板与搬运装置碰撞。通过气体使对象物浮起并向第一方向搬运的搬运装置具备：浮起部，通过喷出上述气体对上述对象物加压而使上述对象物浮起；搬运部，具备沿上述第一方向延伸的无接头的带和能够从上述带突出而与上述对象物接触的多个突起，向上述第一方向驱动上述对象物；吸引部，对上述对象物施加负压而使上述对象物与上述搬运部接触；以及变形机构，包含于上述浮起部或上述搬运部，使上述对象物在其宽度方向中央挠曲。

主权项

1.一种搬运装置，用于通过气体使对象物浮起并向第一方向搬运，其特征在于，具备：浮起部，通过喷出上述气体对上述对象物加压而使上述对象物浮起；搬运部，具备沿上述第一方向延伸的无接头的带和能够从上述带突出而与上述对象物接触的多个突起，并且构成为与上述对象物接触并向上述第一方向进行驱动；以及吸引部，与上述带一体，为了在与上述对象物之间确保间隙而形成为比上述突起低地突出，并与上述搬运部在同一直线上并排地配置，并且对上述对象物施加负压而使上述对象物与上述搬运部接触，上述对象物的厚度为0.1～0.3mm左右，在搬运中，上述对象物的宽度方向两端被平坦地支撑，并设为一定的高度，上述对象物的中央附近因自重而能够向下方稍微挠曲，上述浮起部或上述搬运部包括变形机构，该变形机构构成为使上述对象物在其宽度方向中央挠曲，上述变形机构是构成为使上述浮起部产生比多个上述突起上的上述对象物的高度低的浮起高度的气体供给装置，或者上述变形机构是形成为比上述浮起部上的上述对象物的浮起高度高的多个上述突起，上述气体供给装置使上述浮起部上的浮起高度低于上述突起上的上述对象物的高度，或者，上述对象物在上述浮起部上具有由上述对象物的重量与上述浮起部所产生的浮起力之间的关系决定的固有的浮起高度，若将上述突起以使上述对象物挠曲的方式支撑上述对象物的高度设为L2，则上述突起形成为具有比该高度更高的高度L1，不仅由上述气体供给装置供给的被加压的上述气体与上述对象物冲撞而产生的力成为浮起力的来源，而且所碰撞的上述气体向周围分散的过程中产生的静压也成为浮起力的来源。