[发明专利]多边形螺旋电感器件的版图参数抽取方法有效
| 申请号： | 201810927476.8 | 申请日： | 2018-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN109308374B | 公开（公告）日： | 2023-06-13 |
| 发明（设计）人： | 赵梓夷;杨婷;李浩然 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/398 | 分类号： | G06F30/398 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 郭四华 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种多边形螺旋电感器件的版图参数抽取方法，涉及半导体集成电路制造技术，多边形螺旋电感器件包括第一引出线、第二引出线和外圈保护环，该方法，包括：绘制辅助层，辅助层呈矩形，辅助层的其中两相对边分别与第一引出线和第二引出线的内壁重合，辅助层的另两相对边分别与外圈保护环的内壁重合；利用辅助层与第一引出线、第二引出线和外圈保护环的内壁的位置关系，通过电子设计自动化工具EDA，生成电感器件螺旋电感线圈内部的衍生内径矩形；通过电子设计自动化工具EDA，生成计算电感线圈的内径R及匝数N的技术文件；以及运行技术文件，抽取电感器件的参数，以准确抽取电感器件参数，提高电感器件版图绘制效率，降低错误风险。 | ||
| 搜索关键词： | 多边形 螺旋 电感 器件 版图 参数 抽取 方法 | ||
【主权项】：
1.一种多边形螺旋电感器件的版图参数抽取方法，所述多边形螺旋电感器件包括第一引出线、第二引出线和外圈保护环，其特征在于，包括：S1：绘制辅助层INDID，所述辅助层INDID呈矩形，所述辅助层INDID的其中两相对边分别与所述第一引出线和所述第二引出线的内壁重合，所述辅助层INDID的另两相对边分别与所述外圈保护环的内壁重合；S2：利用所述辅助层INDID与所述第一引出线、所述第二引出线和所述外圈保护环的内壁的位置关系，通过电子设计自动化工具EDA，生成电感器件螺旋电感线圈内部的衍生内径矩形ind_inner_r；S3：通过电子设计自动化工具EDA，生成计算电感线圈的内径R及匝数N的技术文件；以及S4：运行技术文件，抽取电感器件的参数。
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