[发明专利]一种蒸镀掩膜板与玻璃的贴合间隙确定方法、装置及设备有效
| 申请号： | 201810930390.0 | 申请日： | 2018-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN108950476B | 公开（公告）日： | 2021-01-26 |
| 发明（设计）人： | 戚海平 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/54;C23C14/24;C03C17/00 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 郭栋梁 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种蒸镀掩膜板与玻璃的贴合间隙确定方法、装置及设备，涉及显示技术，在蒸镀掩膜板与玻璃贴合后，确定蒸镀掩膜板贴近玻璃的表面的各个部位与玻璃表面的第一间隙；在蒸镀掩膜板的平坦局部与玻璃贴合后，确定蒸镀掩膜板贴近玻璃的表面与玻璃同一表面的第二间隙；确定蒸镀掩膜板各个部位与玻璃的贴合间隙为所述第一间隙减去所述第二间隙的差值。确定了蒸镀掩膜板各个部位与玻璃的贴合间隙后，即可根据该贴合间隙在生产过程中在产品蒸镀前可以根据Gap(间隙)分析结果提前判定产品不良类型及比率，从而大幅降低蒸镀成本并提高不良改善效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸镀掩膜板 玻璃 贴合 间隙 确定 方法 装置 设备 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀掩膜板与玻璃的贴合间隙确定方法，其特征在于，包括：在蒸镀掩膜板与玻璃贴合后，确定蒸镀掩膜板贴近玻璃的表面的各个部位与玻璃表面的第一间隙；在蒸镀掩膜板的平坦局部与玻璃贴合后，确定蒸镀掩膜板贴近玻璃的表面与玻璃同一表面的第二间隙；确定蒸镀掩膜板各个部位与玻璃的贴合间隙为所述第一间隙减去所述第二间隙的差值。
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