[发明专利]一种传输硅片的机械装置

摘要

本发明涉及一种传输硅片的机械装置，其包括X轴驱动机构、Z轴驱动机构、Z轴旋转驱动机构、两套独立的Y轴驱动机构、第一手叉、第二手叉以及校正装置，其中X轴驱动机构上安装有Z轴驱动机构，Z轴驱动机构上安装有Z轴旋转驱动机构，Z轴旋转驱动机构上安装有两套独立的Y轴驱动机构，两套独立的Y轴驱动机构，分别用于驱动第一手叉和第二手叉做水平伸缩运动，校正装置安装在Z轴驱动机构的壳体上。本发明的机械装置工作效率高、工作过程稳定可靠、自由度高，并且将取送机构与校正装置整合到一起，提高了设备集成度，提高产量。

主权项

1.一种传输硅片的机械装置，用于工艺制造时稳定高效地取送硅片，其特征在于，包括以下结构：X轴驱动机构(1)，所述X轴驱动机构(1)上安装有Z轴驱动机构(2)，所述X轴驱动机构(1)可以带动所述Z轴驱动机构(2)沿X轴做水平直线运动；Z轴驱动机构(2),所述Z轴驱动机构(2)上安装有Z轴旋转驱动机构(3)，所述Z轴驱动机构(2)可以带动所述Z轴旋转驱动机构(3)沿Z轴做上下垂直运动；Z轴旋转驱动机构(3)，所述Z轴旋转驱动机构(3)上安装有两套独立的Y轴驱动机构(4)，所述Z轴旋转驱动机构(3)可以带动所述Y轴驱动机构(4)水平面旋转运动；两套独立的Y轴驱动机构(4)，分别用于驱动第一手叉(5)和第二手叉(6)做水平伸缩运动；校正装置(7)，安装在所述Z轴驱动机构(2)的壳体上，用于对所述硅片进行校正；所述校正装置(7)还包括旋转吸盘(7‑1)，所述旋转吸盘(7‑1)可做水平方向的定位运动。