[发明专利]一种常压脉冲辅助平板射频辉光放电的装置与方法

摘要

本发明公开了一种常压脉冲辅助平板射频辉光放电的装置与方法。所述装置为一种等离子体放电反应器，其包括放电腔体，放电腔体内填充有放电气体；放电腔体顶部设有进气口，放电腔体内设有与高压电源连接的上电极及与射频电源连接的下电极，上电极与下电极之间设有一对上下分布的介质板，上方的介质板与上电极连接，下方的介质板与下电极连接。方法为：将放电气体从进气口通入到放电腔体中，先将上电极上接脉冲电源形成脉冲放电；在脉冲放电结束后，再将下电极上通经过脉冲调制的射频交流电使介质板之间产生射频放电。本发明利用脉冲放电中产生的活性粒子辅助射频放电起辉，减少起辉时间并降低起辉时间的维持电压。

主权项

1.一种常压脉冲辅助平板射频辉光放电的装置，其特征在于，为一种等离子体放电反应器，其包括放电腔体(1)，放电腔体(1)内填充有放电气体；放电腔体(1)顶部设有进气口(2)，放电腔体(1)内设有与高压电源连接的上电极(3)及与射频电源连接的下电极(4)，上电极(3)与下电极(4)之间设有一对上下分布的介质板(5)，上方的介质板(5)与上电极(3)连接，下方的介质板(5)与下电极(4)连接。