[发明专利]半导体器件在审

专利信息
申请号: 201810936865.7 申请日: 2018-08-16
公开(公告)号: CN109841622A 公开(公告)日: 2019-06-04
发明(设计)人: 曹圭镐;姜相列;文瑄敏;朴瑛琳;徐钟泛 申请(专利权)人: 三星电子株式会社
主分类号: H01L27/108 分类号: H01L27/108
代理公司: 北京市立方律师事务所 11330 代理人: 李娜
地址: 韩国*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 发明提供了一种半导体器件。所述半导体存储器件包括位于衬底上的第一电极、位于衬底上的第二电极、位于第一电极与第二电极之间的介电层结构以及位于介电层结构与第一电极之间的结晶诱导层。介电层结构包括第一介电层和位于第一介电层上的第二介电层,第一介电层包括第一介电材料,第二介电层包括第二介电材料。
搜索关键词: 介电层 第一电极 半导体器件 第二电极 介电材料 衬底 半导体存储器件 结晶诱导
【主权项】:
1.一种半导体器件,所述半导体器件包括:第一电极,位于衬底上;第二电极,位于所述衬底上;介电层结构,位于所述第一电极与所述第二电极之间;以及结晶诱导层,位于所述介电层结构与所述第一电极之间,其中,所述介电层结构包括:第一介电层,包括第一介电材料,以及第二介电层,位于所述第一介电层上,所述第二介电层包括第二介电材料,并且其中,所述第一介电材料包括具有四方晶相的氧化铪。
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