[发明专利]发光元件及其制造方法在审
申请号: | 201810940704.5 | 申请日: | 2018-08-17 |
公开(公告)号: | CN109103307A | 公开(公告)日: | 2018-12-28 |
发明(设计)人: | 杨鸿志;林小坤;黃建燃;樊本杰;陈和谦;吕瞻旸;邓顺达;谢政璋 | 申请(专利权)人: | 开发晶照明(厦门)有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L33/20 |
代理公司: | 北京律和信知识产权代理事务所(普通合伙) 11446 | 代理人: | 刘小娟;武玉琴 |
地址: | 361101 福建省厦门市*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明公开一种发光元件及其制造方法。发光元件包括基板、外延遮罩层以及外延发光结构。基板具有一表面,且表面具有多个凸出部分以及相对于多个凸出部分的多个凹陷部分;外延遮罩层位于基板上,并覆盖多个凹陷部分,而未覆盖多个凸出部分;外延发光结构设置于基板上;外延发光结构连接于多个凸出部分,并跨过多个凹陷部分。在本发明的发光元件的制造方法中,外延遮罩层覆盖多个凹陷部分而未覆盖多个凸出部分,而使外延发光结构仅以多个凸出部分作为成长面,而可使外延发光结构具有较好的结晶品质。 | ||
搜索关键词: | 凸出 发光结构 发光元件 凹陷 基板 遮罩层 覆盖 制造 结晶品质 跨过 | ||
【主权项】:
1.一种发光元件的制造方法,其特征在于,所述制造方法包括:提供一基板,所述基板具有一表面,所述表面具有多个凸出部分以及相对于多个所述凸出部分内凹的多个凹陷部分;形成一外延遮罩层于所述基板上,其中,所述外延遮罩层覆盖多个所述凹陷部分,而裸露多个所述凸出部分;以及形成一外延发光结构于所述基板上,其中,所述凸出部分做为所述外延发光结构的成长面。
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