[发明专利]非晶合金精密零件的制造方法在审
| 申请号： | 201810943255.X | 申请日： | 2018-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN109227036A | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 周新路;袁晓波;蒋益民;李军旗 | 申请（专利权）人： | 基准精密工业（惠州）有限公司 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00;C23F1/16;C23F1/02 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 饶智彬;刘永辉 |
| 地址： | 516100 广东省惠州市博*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种非晶合金精密零件的制造方法，包括如下步骤：制备非晶合金板材或带材；对所述非晶合金板材或带材进行切割处理，以形成非晶合金片；于所述非晶合金片表面设置光阻膜；于所述光阻膜表面设置第一胶片，所述第一胶片包括第一图案区域和第一非图案区域；对设置有第一胶片的非晶合金片进行光处理，以使所述第一非图案区域被硬化；对经光处理的非晶合金片进行蚀刻切割处理，以使所述第一胶片中第一图案区域、第一图案区域所对应的光阻膜和部分非晶合金片及第一非图案区被蚀刻切割，从而形成所述非晶合金精密零件。 | ||
| 搜索关键词： | 非晶合金片 非晶合金 胶片 精密零件 图案区域 光阻膜 切割 蚀刻 非图案区域 表面设置 光处理 带材 非图案区 制备 制造 硬化 | ||
【主权项】：
1.一种非晶合金精密零件的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：制备非晶合金板材或带材；对所述非晶合金板材或带材进行切割处理，以形成非晶合金片；于所述非晶合金片表面设置光阻膜；于所述光阻膜表面设置第一胶片，所述第一胶片包括第一图案区域和第一非图案区域；对设置有第一胶片的非晶合金片进行光处理，以使所述第一非图案区域被硬化；对经光处理的非晶合金片进行蚀刻切割处理，以使所述第一胶片中第一图案区域、第一图案区域所对应的光阻膜和部分非晶合金片及第一非图案区被蚀刻切割，从而形成所述非晶合金精密零件。
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