[发明专利]一种PVDF阵列式柔性压电传感器的图形化刻蚀方法

摘要

本发明技术领域,具体涉及一种PVDF阵列式柔性压电传感器的图形化刻蚀方法。本发明采用雕刻图形化的加工工艺,无需掩模版，可以同时进行大规模可控化制备，通过串并联结构设计，拓展器件工作能力与应用范围。现有的制备工艺中，由于多次溶液刻蚀会对PVDF上的铝膜造成不可逆的损害，使图形化成品率差；而使用离子刻蚀的机器成本高昂，本发明通过改进PCB蓝膜工艺，最终解决了成本和成品品质兼得的工艺方法。

主权项

1.一种PVDF阵列式柔性压电传感器的图形化刻蚀方法，具体步骤如下：步骤一、图案绘制：对目标压电传感器的图案进行绘制；步骤二、制备保护膜：对面积大于所需图案的PCB蓝膜进行雕刻,得到与步骤1绘制的图案相对应的蓝膜保护膜；步骤三、定位粘贴，以及后续处理：将步骤二得到的PCB蓝膜保护膜的下层透明保护膜去除，然后将其粘贴在镀铝的PVDF上，粘贴后压紧避免气泡产生，以避免刻蚀液浸入保护膜内；再于40～50℃的热板上进行加热至完全贴合；步骤四、曝光：压紧并曝光镀铝PVDF上的蓝膜保护膜至其完全曝光，完全曝光的蓝膜应呈现深紫色，并紧密贴合在镀铝PVDF上；步骤五、刻蚀：在配置的铝刻蚀液中完全浸泡刻蚀，直至步骤四所得镀铝PVDF的未被蓝膜保护膜保护的无图案部分前后透明即可取出，然后在清水或去离子水中浸泡洗去多余酸液；步骤六、去蓝膜：揭下蓝膜的上层保护膜，在乙醇溶液中进行浸泡，直至溶解所有蓝膜，再用清水清洗并晾干；步骤七、电极、引线制备；在步骤六制备的镀铝PVDF上进行电极和引线的制备。