[发明专利]一种蒸发源装置有效
| 申请号： | 201810947012.3 | 申请日： | 2018-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN108998764B | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 黄伟 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种蒸发源装置，所述蒸发源装置包括真空腔室以及蒸发源切换装置，所述真空腔室包括：腔体、设置于所述腔体侧壁上的真空阀以及设置于所述腔体侧壁上的真空管路；所述蒸发源切换装置包括：至少两个蒸发源载盘、设置于所述蒸发源载盘上的蒸发源以及用于运送所述蒸发源的传动机构，通过将蒸发源设计为具有独立真空系统的多个独立蒸发源，并采用机械传动装置切换蒸发源的方法，省去现有技术中开腔给蒸发源加料、抽真空、升温加热的工艺流程，实现了蒸镀可持续生产，大幅降低蒸镀填料对生产的影响，进而缩短生产周期，提高设备生产率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 装置 | ||
【主权项】：
1.一种蒸发源装置，其特征在于：所述蒸发源装置包括：真空腔室以及蒸发源切换装置；所述真空腔室包括：腔体、设置于所述腔体侧壁上的真空阀、以及设置于所述腔体侧壁上的真空管路；所述蒸发源切换装置包括：至少两个蒸发源载盘、设置于所述蒸发源载盘上的蒸发源以及用于运送所述蒸发源的传动机构。
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