[发明专利]一种版图互连线缺陷检查系统及其检查方法有效
| 申请号： | 201810947706.7 | 申请日： | 2018-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN110888087B | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 谢育桦;王静;殷惠萍;王聪;张永光;张亮;彭新朝;徐以军;冯玉明;黄穗彪 | 申请（专利权）人： | 珠海零边界集成电路有限公司;珠海格力电器股份有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/398 | 分类号： | G06F30/398 |
| 代理公司： | 天津三元专利商标代理有限责任公司 12203 | 代理人： | 胡婉明 |
| 地址： | 519015 广东省珠海*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种版图互连线缺陷检查系统及其检查方法，所述版图为多层金属互连结构，所述相邻两层金属之间通过通孔堆叠连接，根据检查目标确定网络节点；根据网络节点确定各层金属间、各通孔堆叠间、金属层和通孔堆叠之间的连通节点；依次选取金属层进行运算得到理论金属层，比较选取的金属层与对应理论金属层得到该金属层缺陷瓶颈；依次选取通孔堆叠进行运算得到通孔堆叠的缺陷瓶颈。本发明通过版图图形的连通性，通过设定的阈值进行运算和筛选操作，获取金属层和通孔堆叠瓶颈缺陷的具体区域和形状，提高检查效率和准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 版图 互连 缺陷 检查 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
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