[发明专利]半导体生产用辅助设备有效
| 申请号： | 201810949330.3 | 申请日： | 2018-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN109148335B | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 黄晓波 | 申请（专利权）人： | 重庆市嘉凌新科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 重庆强大凯创专利代理事务所(普通合伙) 50217 | 代理人： | 成艳 |
| 地址： | 401326 重庆市九*** | 国省代码： | 重庆;50 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了半导体生产领域内的半导体生产用辅助设备，包括支撑座，支撑座上端中部设有竖向的排料管，排料管左、右两侧的支撑座上均可拆卸连接有计量盒，排料管的上方设有压切机构；计量盒的上端开口，每个计量盒的上方均横向滑动连接有支撑板，每个支撑板与压切机构之间均连接有传动机构，传动机构用于在压切机构向上移动过程中拉动支撑板横向滑动打开计量盒的上端开口。本发明可解决现有半导体半成品废料切除、成品收集采用人工操作，效率低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 生产 辅助 设备 | ||
【主权项】：
1.半导体生产用辅助设备，其特征在于：包括支撑座，支撑座上端中部设有竖向的排料管，排料管左、右两侧的支撑座上均可拆卸连接有计量盒，排料管的上方设有压切机构；所述计量盒的上端开口，每个计量盒的上方均横向滑动连接有支撑板，每个支撑板与压切机构之间均连接有传动机构，传动机构用于在压切机构向上移动过程中拉动支撑板横向滑动打开计量盒的上端开口。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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