[发明专利]一种减反射薄膜的结构和制备方法

摘要

本发明公开了一种宽谱减反薄膜。它包括玻璃衬底、TiO₂(H⁺)和两种折射率不同的TiO₂(OH^‑)溶胶凝胶层。其中通过提拉法在衬底上依次制备不同折射率的TiO₂(H⁺)、TiO₂(OH^‑)和TiO₂(OH^‑)溶胶凝胶层，其中每层薄膜均经过热处理，并对薄膜表面进行优化处理提高薄膜的稳定性。本发明制备过程为溶胶凝胶和浸渍提拉技术，通过膜系软件的设计可制备出沿衬底到空气方向上的折射率递减，厚度匹配的宽谱减反射薄膜，并且对薄膜表面进行优化将亲水基团嫁接成疏水基团，以此来提高稳定性。

主权项

1.一种宽谱减反射薄膜的结构和制备方法，其特征在于，先使用溶胶凝胶法制备酸催化的TiO2溶胶；然后在碱催化下制备不同折射率的TiO2溶胶；其次用所配置的溶胶，结合浸渍提拉法在玻璃衬底上制备多折射率层渐变层TiO2(H+)/TiO2(OH‑)/TiO2(OH‑)减反射薄膜；最后将所得的减反射薄膜进行表面优化处理，再经过清洗提拉烘干后，即可得稳定的宽谱减反射薄膜。