[发明专利]辉光放电系统以及使用其的辉光放电质谱装置

摘要

本发明提供辉光放电系统以及使用其的辉光放电质谱装置。提供一种不大幅地改变以往的辉光放电系统的装置结构、驱动条件，就能增大所引出的离子束流强，并且分析精度更高的辉光放电质谱装置。在平板状的固体试样(30)和用于保持该固体试样的柱塞(16)之间配置有圆形且是平板状的第1磁体(15)，在形成放电区域的单元主体(21)的离子引出口侧配置有环状的第2磁体(26)，该第2磁体以围绕所述放电区域的方式与所述第1磁体同轴配置，第1磁体和第2磁体以磁化方向与引出离子束的方向平行且磁极彼此朝向相反方向的方式配置，从而当在放电区域产生了辉光放电时，利用由第1磁体和第2磁体形成的磁场增大所引出的离子束流强。

主权项

1.一种辉光放电系统，该辉光放电系统用在辉光放电质谱装置中，该辉光放电系统包括：样品保持件，其具有开口部，并且具备保持构件，该保持构件以使平板状的固体试样的一个主面朝向所述开口部的方式自该固体试样的与所述开口部所在侧相反的一侧保持该固体试样；以及放电单元，其与所述样品保持件的所述开口部侧相邻，具有配置在与所述开口部所在侧相反的一侧的离子引出口，用于形成放电区域，该辉光放电系统的特征在于，在所述保持构件的用于保持所述固体试样的那一侧设有圆形且是平板状的第1磁体，在所述放电区域的所述离子引出口侧设有环状的第2磁体，该第2磁体以围绕所述放电区域的方式埋入所述放电单元，并与所述第1磁体同轴配置，所述第1磁体和所述第2磁体以磁化方向与自所述开口部朝向离子引出口去的方向平行、并且磁极彼此朝向相反方向的方式配置。