[发明专利]精细金属掩模及其制法在审
| 申请号： | 201810959149.0 | 申请日： | 2018-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN110857462A | 公开（公告）日： | 2020-03-03 |
| 发明（设计）人： | 石清堉 | 申请（专利权）人： | 鋆洤科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/50;H01L51/56 |
| 代理公司： | 上海弼兴律师事务所 31283 | 代理人： | 薛琦 |
| 地址： | 中国台湾桃园市龟*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种精细金属掩模，具有中央图案部以及强化外框。中央图案部具有掩模图案。强化外框连接于中央图案部的外缘。强化外框的厚度大于中央图案部的厚度，且精细金属掩模是以电铸工艺制成。一种精细金属掩模的制法，具有下述步骤：溅镀形成金属层于玻璃基板上，再电铸形成中央图案部及强化外框于金属层上，并移除金属层及玻璃基板而获得精细金属掩模。精细金属掩模不易产生挠曲、使用寿命长并有利于提高有机发光二极管的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 精细 金属 及其 制法 | ||
【主权项】：
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