[发明专利]微机电系统探针、制作其的方法及使用其的测试装置有效
| 申请号： | 201810960590.0 | 申请日： | 2018-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN109425765B | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 朴雄纪 | 申请（专利权）人： | 李诺工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 马爽;臧建明 |
| 地址： | 韩国釜山市江西*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开一种用于在待测试对象的受试接触点与测试电路的测试接触点之间进行电连接的微机电系统(MEMS)探针。MEMS探针包括：第一端子接触部分；第二端子接触部分，能够靠近和远离第一端子接触部分而移动；以及弹性连接部分，连接第一端子接触部分与第二端子接触部分，弹性连接部分通过第二端子接触部分的接近而弹性变形，且包括在弹性变形方向上堆叠的多个镀覆层。此外，公开一种制作微机电系统探针的方法及测试装置。根据本发明，MEMS探针包括在弹性变形方向上堆叠的多个镀覆层，由此使疲劳失效减少且使耐久性提高。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 探针 制作 方法 使用 测试 装置 | ||
【主权项】：
1.一种微机电系统探针，用于测试待测试对象的电特性，所述微机电系统探针包括：第一端子接触部分；第二端子接触部分，与所述第一端子接触部分相对；以及弹性连接部分，在所述第一端子接触部分与所述第二端子接触部分之间弹性变形且包括在变形方向上堆叠的多个镀覆层。
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