[发明专利]一种基于柔性铰链的Z向纳米位移定位平台

摘要

本发明公开了基于柔性铰链的Z向纳米位移定位平台，平台本体包括运动平台和基座，运动平台通过柔性铰链与基座连接；平台本体内开设有盲孔，在盲孔内安装依次安装有锁紧螺母、半球螺母、第一钨钢半球、压电陶瓷和第二钨钢半球，盲孔的一端部与第二钨钢半球接触，另一端部内安装有锁紧螺母和半球螺母，半球螺母与第一钨钢半球的表面接触；柔性铰链的上端面与运动平台连接，柔性铰链的下端面与基座连接。本发明的有益效果是运动平台与基座之间的柔性铰链的上端面连接点及下端面连接点的数量能够提高谐振频率，同时柔性铰链一体加工成型，其变性一致性好，能保证较小的Z向运动偏摆角，能够满足要求高的使用场合，整体结构简单，应用范围广。

主权项

1.一种基于柔性铰链的Z向纳米位移定位平台，包括平台本体(1)，其特征在于：所述平台本体(1)包括运动平台(1‑1)和基座(1‑2)，所述运动平台(1‑1)通过柔性铰链(2)与所述基座(1‑2)连接；所述平台本体(1)内开设有盲孔(3)，在所述盲孔(3)内依次安装有锁紧螺母(4)、半球螺母(5)、第一钨钢半球(6)、压电陶瓷(7)和第二钨钢半球(8)，所述盲孔(3)的一端部与所述第二钨钢半球(8)接触，另一端部内安装有所述锁紧螺母(4)和半球螺母(5)，所述半球螺母(5)与所述第一钨钢半球(6)的表面接触；所述柔性铰链(2)的上端面与所述运动平台(1‑1)连接，所述柔性铰链(2)的下端面与所述基座(1‑2)连接。