[发明专利]基于全光纤共光路反射式干涉仪的无孔式近场光学显微成像方法在审
申请号: | 201810964380.9 | 申请日: | 2018-08-23 |
公开(公告)号: | CN109239404A | 公开(公告)日: | 2019-01-18 |
发明(设计)人: | 丁伟;孙一之 | 申请(专利权)人: | 中国科学院物理研究所 |
主分类号: | G01Q60/18 | 分类号: | G01Q60/18 |
代理公司: | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人: | 王勇 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种无孔式近场光学显微成像方法,包括如下步骤:辐照步骤:将激光耦合进波导样品;扫描步骤:用探针扫描所述波导样品;干涉步骤:将参考光和信号光引入同一条光纤路径中发生干涉,其中,所述参考光为所述激光在波导样品端面处的反射光或在所述波导样品之前的布拉格光纤光栅处的反射光,所述信号光为所述激光在所述波导样品的探针扫描部位处的反射光;以及相干检测步骤:对所述干涉步骤产生的干涉光信号进行相干检测。 | ||
搜索关键词: | 波导样品 反射光 干涉 近场光学 探针扫描 显微成像 相干检测 参考光 无孔式 信号光 激光 布拉格光纤光栅 干涉光信号 辐照步骤 光纤路径 激光耦合 扫描步骤 端面处 反射式 共光路 全光纤 引入 | ||
【主权项】:
1.一种无孔式近场光学显微成像方法,包括如下步骤:辐照步骤:将激光耦合进波导样品;扫描步骤:用探针扫描所述波导样品;干涉步骤:将参考光和信号光引入同一条光纤路径中发生干涉,其中,所述参考光为所述激光在波导样品端面处的反射光或布置在所述波导样品之前的布拉格光纤光栅处的反射光,所述信号光为所述激光在所述波导样品的探针扫描部位的反射光;以及相干检测步骤:对所述干涉步骤产生的干涉光信号进行相干检测。
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