[发明专利]气体处理装置、工作方法及其清洗方法在审
| 申请号： | 201810965137.9 | 申请日： | 2018-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN109012040A | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | 王磊;周冬成;吴宗祐;林宗贤 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/18 | 分类号： | B01D53/18 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 徐文欣;吴敏 |
| 地址： | 223302 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种气体处理装置、工作方法及其清洗方法，其中，气体处理装置包括：腔室，所述腔室具有进气口，所述进气口用于向腔室内输入第一气体；与所述腔室连通的第一进液管，所述第一进液管用于向腔室内输入第一处理液，所述第一处理液用于对第一气体进行气体处理形成第二处理液；与所述腔室底部连通的第一蓄液槽，且所述第一蓄液槽与腔室之间可拆卸连接，所述第一蓄液槽用于承装第二处理液；与所述第一蓄液槽连通的第二蓄液槽，所述第二蓄液槽与第一蓄液槽之间可拆卸连接，所述第二蓄液槽内具有传感器。利用所述气体处理装置对第一气体进行处理后，对第一蓄液槽的清洗较方便，且无需重新安装调试传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 蓄液槽 腔室 气体处理装置 处理液 进气口 清洗 第一进液管 可拆卸连接 传感器 连通 室内 底部连通 气体处理 重新安装 调试 | ||
【主权项】：
1.一种气体处理装置，其特征在于，包括：腔室，所述腔室具有进气口，所述进气口用于向腔室内输入第一气体；与所述腔室连通的第一进液管，所述第一进液管用于向腔室内输入第一处理液，所述第一处理液用于对第一气体进行气体处理形成第二处理液；与所述腔室底部连通的第一蓄液槽，且所述第一蓄液槽与腔室底部可拆卸连接，所述第一蓄液槽用于承装第二处理液；与所述第一蓄液槽连通的第二蓄液槽，所述第二蓄液槽与第一蓄液槽之间可拆卸，所述第二蓄液槽内具有传感器。
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