[发明专利]一种真空镀膜设备的产品装夹装置在审

专利信息
申请号: 201810970194.6 申请日: 2018-08-24
公开(公告)号: CN110857466A 公开(公告)日: 2020-03-03
发明(设计)人: 张心凤;尹辉;夏正卫 申请(专利权)人: 安徽纯源镀膜科技有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;C23C16/458
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 230088 安徽省合肥市*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了一种真空镀膜设备的产品装夹装置,包括旋转驱动轴,所述旋转驱动轴上套有镀膜保护挡板,所述镀膜保护挡板上安装有第一套绝缘装置,所述旋转驱动轴上套有第一轴承,所述第一轴承外套有第一碳刷导电机构,所述第一碳刷导电机构内安装有第一密封零件,所述旋转驱动轴上套有驱动齿轮,所述驱动齿轮与旋转驱动轴之间设有第二套绝缘装置,所述驱动齿轮边缘处啮合有驱动马达,所述旋转驱动轴上套有偏压支架,且位于驱动齿轮的上方,本发明涉及真空镀膜设备技术领域,调节电压,使离子束流排出尖角效应的干扰,达到深孔内表面镀膜,复杂曲面镀膜的目的,该装置为两套独立的旋转偏压系统。
搜索关键词: 一种 真空镀膜 设备 产品 装置
【主权项】:
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