[发明专利]一种真空镀膜设备的产品装夹装置在审
申请号: | 201810970194.6 | 申请日: | 2018-08-24 |
公开(公告)号: | CN110857466A | 公开(公告)日: | 2020-03-03 |
发明(设计)人: | 张心凤;尹辉;夏正卫 | 申请(专利权)人: | 安徽纯源镀膜科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C16/458 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 230088 安徽省合肥市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种真空镀膜设备的产品装夹装置,包括旋转驱动轴,所述旋转驱动轴上套有镀膜保护挡板,所述镀膜保护挡板上安装有第一套绝缘装置,所述旋转驱动轴上套有第一轴承,所述第一轴承外套有第一碳刷导电机构,所述第一碳刷导电机构内安装有第一密封零件,所述旋转驱动轴上套有驱动齿轮,所述驱动齿轮与旋转驱动轴之间设有第二套绝缘装置,所述驱动齿轮边缘处啮合有驱动马达,所述旋转驱动轴上套有偏压支架,且位于驱动齿轮的上方,本发明涉及真空镀膜设备技术领域,调节电压,使离子束流排出尖角效应的干扰,达到深孔内表面镀膜,复杂曲面镀膜的目的,该装置为两套独立的旋转偏压系统。 | ||
搜索关键词: | 一种 真空镀膜 设备 产品 装置 | ||
【主权项】:
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