[发明专利]一种新的真空镀膜设备的偏压系统

摘要

本发明公开了一种新的真空镀膜设备的偏压系统，包括支撑架、驱动马达、齿轮驱动装置、绝缘零件、三对相同结构的第一固定螺栓、旋转轴、偏压引入装置、两对相同结构的碳刷、固定板、一对相同结构的轴承、真空密封装置、四对相同结构的第二固定螺栓以及绝缘板共同构成的,所述驱动马达安置于支撑架上表面，所述齿轮驱动装置安置于驱动马达的旋转端上，所述绝缘零件安置于齿轮驱动装置内，三对所述第一固定螺栓安置于绝缘零件上，本发明涉及真空镀膜设备领域，该装置为两套独立的旋转偏压系统，提高薄膜粘附性、增加离子透过率、改善膜层均匀性和达到复杂曲面形状的镀膜的目的，使用起来更加的方便，结构相对简单。