[发明专利]一种热膨胀测量仪及使用方法

摘要

本发明公开了一种热膨胀测量仪装置及使用方法，热膨胀测量仪包括位于气浮导轨上的两个移动滑架、位于气浮导轨一端的激光干涉仪、位于气浮导轨下面用于放置试样的三自由度微调平台及五部分组成，位于气浮导轨一端的激光干涉仪在测量过程是固定的，三自由度微调平台用于保证试样与气浮导轨平行，测针分别固定在两个气浮滑架上用于将试样的热膨胀量转化为气浮滑架位移量，两个气浮滑架上分别固定有分光镜及反光镜组用于测量气浮滑架位移量。本发明解决了现有装置测量热膨胀困难，或者精度不高的问题。

主权项

1.一种热膨胀测量仪，其特征在于：包括设置在平台上的气浮导轨，气浮导轨上一端固定有激光干涉仪调整云台，激光干涉仪调整云台上安装有激光干涉仪激光器，气浮导轨上还滑动安装有两个气浮滑架，靠近激光干涉仪激光器的气浮滑架上固定有y向微调平台，y向微调平台上安装有分光镜及反射镜组，远离激光干涉仪激光器的气浮滑架上固定有y‑z两自由度微调平台， y‑z两自由度微调平台上固定有反射镜，且反射镜朝向分光镜及反射镜组；两个气浮滑架的底部分别垂直固定有一个测针，气浮导轨下的平台上固定有两个三自由度微调平台，两个三自由度微调平台上分别固定有一个窄V型块，两窄V型块用于放置被测试样。