[发明专利]基于微波处理的非传统光伏硅片清洗干燥工艺

摘要

本发明涉及光伏硅片，具体涉及一种基于微波处理的非传统光伏硅片清洗干燥工艺。所述的清洗干燥工艺，步骤如下：将盛装光伏硅片的花篮转移至微波干燥炉中；启动微波电源，进行加热，并利用红外温度传感器监控光伏硅片表面温度；加热完成后，开启微波干燥炉上方排气口，从光伏硅片下方输入空气流，排出微波干燥炉内的废气；红外温度传感器反馈光伏硅片表面温度低于50℃，停止输入空气流，清洗干燥工艺完毕。本发明能够有效去除光伏硅片表面残余的有机物，简化了生产过程，效率高，能耗低，均匀性好，安全性高，且装置结构简单，易于操作。