[发明专利]一种IC装备结构件的加工工艺有效
申请号: | 201810973131.6 | 申请日: | 2018-08-24 |
公开(公告)号: | CN108994543B | 公开(公告)日: | 2020-06-26 |
发明(设计)人: | 褚依辉 | 申请(专利权)人: | 沈阳富创精密设备有限公司 |
主分类号: | B23P15/00 | 分类号: | B23P15/00 |
代理公司: | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人: | 俞鲁江 |
地址: | 110000 辽宁*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明工艺为一种IC装备结构件的加工工艺。该零件为IC装备零部件的一种托举零件,其结构较为特殊,为异型件。材料为304不锈钢,主体为异形钢圈,前端小后端大,底部有斜面,中心有精孔。斜面的另一端TIG焊接4个钢爪,要求钢爪相对于中心孔有严格的位置度要求,该零件用于托举架,是晶元制程设备中一个应用广泛的零部件。本发明还公开了一种新型的焊接异形件的工艺方案。 | ||
搜索关键词: | 一种 ic 装备 结构件 加工 工艺 | ||
【主权项】:
1.一种IC装备零部件的加工工艺,其特征在于:第一步,线切割主体的外形,保证内孔尺寸为最终尺寸,外形为最终尺寸,厚度留余量1mm,保证主体变形量最小;第二步,将钢爪用线切割方式加工外形,与主体焊接部位加工到位,其余尺寸均预留1.5mm余量;第三步,焊接钢爪于主体上,保证钢爪线性方向均有3mm余量;第四部,采用TIG焊接四个钢爪在主体上;第五部,数控铣加工钢爪及主体的全部,主体的底部斜面不用铣加工;修内孔及外形,通过补正方式保证位置精度要求;第六步:线切割底部斜面;第七步:钳工校型,保证精车前加工状态要求;第八步:立车精加工钢爪保证最终尺寸精度及位置度要求,保证粗糙度要求。
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