[发明专利]一种用于装载近局域电极的双束系统样品台有效
| 申请号： | 201810977038.2 | 申请日： | 2018-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN109346391B | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 沙刚;吴琴莉;靳慎豹;胡蓉 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/28 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 邹伟红 |
| 地址： | 210094 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于装载近局域电极的聚焦离子束/扫描电镜双束系统样品台。该样品台包括：样品台主体，燕尾形样品槽，方形卡槽，内六角紧定螺钉以及固定杆，固定杆与样品台主体底部垂直。样品台主体内设置有燕尾形样品槽；燕尾形样品槽用于装载近局域电极；燕尾槽底部设置有方形卡槽，方形卡槽用于卡紧近局域电极底部的销钉；内六角紧定螺钉通过方形卡槽顶住近局域电极底部的销钉以进一步固定近局域电极；固定杆用于连接聚焦离子束/扫描电镜双束系统旋转底座。在该发明的使用过程中，样品台与近局域电极依靠机械固定，能有效防止近局域电极的移动，使其工作稳定可靠，有效提高设备效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 装载 局域 电极 系统 样品 | ||
【主权项】：
1.一种用于装载近局域电极的双束系统样品台，所述的样品台包括：样品台主体(1)，燕尾形样品槽(2)，方形卡槽(4)，内六角紧定螺钉(5)以及固定杆(4)，固定杆(4)与样品台主体(1)底部中心垂直；所述的样品台主体(1)内设置有燕尾形样品槽(2)；所述的燕尾形样品槽(2)用于装载近局域电极；所述的燕尾形样品槽(2)底部设置有方形卡槽(4)，所述的方形卡槽(4)用于卡紧近局域电极；所述的内六角紧定螺钉(5)通过方形卡槽(4)顶住近局域电极底部的销钉以进一步固定近局域电极；所述的固定杆(3)用于连接聚焦离子束/扫描电镜双束系统旋转底座。
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