[发明专利]随机激光清洗装置与方法有效
| 申请号： | 201810984404.7 | 申请日： | 2018-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN108816964B | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 林学春;赵树森;张志研;王奕博;李达;梁浩;刘燕楠;马文浩 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B08B13/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张宇园 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种随机激光清洗装置与方法，该装置包括：一激光器，该激光器中存在声光调Q并与声光调Q驱动电源相连，还存在激光模块并与激光模块驱动电源相连，同时激光器与一水冷机相连，用于激光器中激光模块、声光调Q和镜片的冷却；一激光清洗头，通过一传能光纤与激光器相连；一执行机构，激光清洗头安装在该执行机构上，用于控制激光清洗头的运动路径；一执行机构伺服控制系统，与执行机构相连，用于控制执行机构实现运动；一随机信号发生器，连接执行机构伺服控制系统与声光调Q驱动电源，控制激光清洗过程。通过本技术方案，可实现清洗后的工件表面无规则清洗痕迹，表面均匀，美观度较传统激光清洗高，大大提高激光清洗的实用性。 | ||
| 搜索关键词： | 随机 激光 清洗 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种随机激光清洗装置，其特征在于，所述装置包括：一激光器，所述激光器中存在声光调Q并与声光调Q驱动电源相连，所述激光器中还存在激光模块并与激光模块驱动电源相连，同时激光器与一水冷机相连，用于激光器中激光模块、声光调Q和镜片的冷却；一激光清洗头，通过一传能光纤与所述激光器相连；一执行机构，所述激光清洗头安装在所述该执行机构上，用于控制所述激光清洗头的运动路径；一执行机构伺服控制系统，与所述执行机构相连，用于控制所述执行机构实现运动；一随机信号发生器，连接所述执行机构伺服控制系统与声光调Q驱动电源，控制激光清洗过程。
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