[发明专利]一种阳极真空铸靶炉在审
申请号: | 201810984709.8 | 申请日: | 2018-08-28 |
公开(公告)号: | CN108788103A | 公开(公告)日: | 2018-11-13 |
发明(设计)人: | 王炳;唐天权 | 申请(专利权)人: | 爱克斯瑞真空技术(苏州)有限公司 |
主分类号: | B22D25/02 | 分类号: | B22D25/02;B22D21/02;B22D35/06 |
代理公司: | 苏州中合知识产权代理事务所(普通合伙) 32266 | 代理人: | 伍兵 |
地址: | 215000 江苏省苏州市吴中区越溪街*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及材料重组技术领域,尤其涉及一种阳极真空铸靶炉,包括铸靶炉主体以及支撑铸靶炉主体的支架,还包括有:材料置入装置,所述材料置入装置对称设置在铸靶炉主体的两端,所述材料置入装置包括有放气阀、推杆,真空生成检测装置,所述真空生成检测装置包括有机械泵、扩散泵以及若干个电子规管,所述电子规管用于测量铸靶炉主体内腔的真空度,所述扩散泵安装在铸靶炉主体上,并和铸靶炉主体的内腔连通,加热装置,所述加热装置包括有一加热电极,所述加热电极设置在铸靶炉主体的内腔。该阳极真空铸靶炉可制作出满足X射线管生产需求的铜棒,通过电控柜连接相应部件,实现了铸靶的智能化、机械化。 | ||
搜索关键词: | 靶炉 置入装置 阳极 加热电极 加热装置 检测装置 扩散泵 规管 推杆 对称设置 内腔连通 生产需求 相应部件 有机械泵 重组技术 主体内腔 电控柜 放气阀 智能化 内腔 铜棒 支架 机械化 测量 支撑 | ||
【主权项】:
1.一种阳极真空铸靶炉,包括铸靶炉主体以及支撑铸靶炉主体的支架,其特征在于,还包括有:材料置入装置,所述材料置入装置对称设置在铸靶炉主体的两端,所述材料置入装置包括有放气阀、推杆;真空生成检测装置,所述真空生成检测装置包括有机械泵、扩散泵以及若干个电子规管,所述电子规管用于测量铸靶炉主体内腔的真空度,所述扩散泵安装在铸靶炉主体上,并和铸靶炉主体的内腔连通;加热装置,所述加热装置包括有一加热电极,所述加热电极设置在铸靶炉主体的内腔;冷却成型装置,所述冷却成型装置包括有一进水口和一出水口,所述进水口、出水口均设置在铸靶炉主体上;外部控制装置,所述外部控制装置包括一电控柜,所述电控柜通过电缆分别连接所述加热电极、电子规管、热电偶、机械泵以及扩散泵。
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