[发明专利]漩涡式探针、探针测试装置、探针卡系统及多晶片模块的失效分析方法有效
| 申请号： | 201810985043.8 | 申请日： | 2018-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN110907672B | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 孙育民;程志丰;廖致傑 | 申请（专利权）人： | 创意电子股份有限公司;台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种漩涡式探针、探针测试装置、探针卡系统及多晶片模块的失效分析方法。漩涡式探针包括一针体、一连接部与一漩涡弹簧。针体的一端具有一针尖。漩涡弹簧连接针体与连接部。漩涡弹簧包含一圈以上的旋绕体，这些旋绕体彼此共平面，且这些旋绕体的轴心与针体的长轴方向正交。故，通过上述架构，漩涡式探针不致于导电接点上横向滑移，降低滑出导电接点的范围的机会，以维持探针与导电接点之间的电接品质及测试性能，以及缩小测试变数。 | ||
| 搜索关键词： | 漩涡 探针 测试 装置 系统 多晶 模块 失效 分析 方法 | ||
【主权项】：
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