[发明专利]由计算系统执行的方法在审
| 申请号： | 201810985466.X | 申请日： | 2018-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN109840342A | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | 裴大牛;屈帅哥 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 康艳青;姚开丽 |
| 地址： | 中国台湾新竹科*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种由计算系统执行的方法，包含：接收布局图案；接收与布局图案相关联的目标图案；接收与目标图案相关的一组约束；模拟与布局图案相关联的第一轮廓；确定第一轮廓与目标图案之间的第一差；模拟与经修改布局图案相关联的第二轮廓；以及确定第二轮廓与经修改目标图案之间的第二差。经修改目标图案不同于目标图案并在约束内。方法进一步包含制造具有最终布局图案的掩模。 | ||
| 搜索关键词： | 目标图案 布局图案 计算系统 关联 最终布局 掩模 图案 制造 | ||
【主权项】：
1.一种由计算系统执行的方法，所述方法包括：接收布局图案；接收与所述布局图案相关联的目标图案；接收与所述目标图案相关的一组约束；模拟与所述布局图案相关联的第一轮廓；确定所述第一轮廓与所述目标图案之间的第一差；模拟与经修改布局图案相关联的第二轮廓；确定所述第二轮廓与经修改目标图案之间的第二差，所述经修改目标图案不同于所述目标图案并在所述约束内；以及制造具有最终布局图案的掩模。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于台湾积体电路制造股份有限公司，未经台湾积体电路制造股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810985466.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
