[发明专利]双层彩色滤光器及其形成方法在审
| 申请号： | 201810987587.8 | 申请日： | 2018-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN109148500A | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | 张东亮;金子贵昭;黄晓橹 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01L27/146 | 分类号： | H01L27/146 |
| 代理公司： | 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 | 代理人： | 杨楷;毛立群 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及半导体技术领域，公开了一种双层彩色滤光器及其形成方法，包括：提供固态影像器件，在固态影像器件上形成第一彩色滤光片层；刻蚀第一彩色滤光片层，形成具有第一凸面轮廓的第一滤光器；在第一滤光器的第一凸面轮廓上形成第二彩色滤光片层；刻蚀第二彩色滤光片层，形成具有第二凸面轮廓的第二滤光器。本发明通过在固态影像器件上形成具有第一凸面轮廓的第一滤光器和具有第二凸面轮廓的第二滤光器，而不需要形成微透镜，能够更加有效地对光进行聚光和过滤，从而能够提高图像传感器的性能并降低生产成本和制造难度。 | ||
| 搜索关键词： | 凸面轮廓 滤光器 彩色滤光片层 固态影像 彩色滤光器 刻蚀 半导体技术领域 图像传感器 微透镜 有效地 聚光 过滤 制造 | ||
【主权项】：
1.一种双层彩色滤光器的形成方法，其特征在于，包括：提供固态影像器件，在所述固态影像器件上形成第一彩色滤光片层；刻蚀所述第一彩色滤光片层，形成具有第一凸面轮廓的第一滤光器；在所述第一滤光器的所述第一凸面轮廓上形成第二彩色滤光片层；刻蚀所述第二彩色滤光片层，形成具有第二凸面轮廓的第二滤光器。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
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