[发明专利]一种宽温高储能的无铅柔性的介电薄膜电容器及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201810988744.7 申请日: 2018-08-28
公开(公告)号: CN109166730B 公开(公告)日: 2020-05-22
发明(设计)人: 刘明;梁仲帅 申请(专利权)人: 西安交通大学
主分类号: H01G4/33 分类号: H01G4/33;H01G4/12;H01G4/008;H01G13/00
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司 61200 代理人: 徐文权
地址: 710049 陕*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明涉及微电子器件中柔性的嵌入式薄膜电容器的设计与材料制备领域,具体是一种宽温高储能的无铅柔性的介电薄膜电容器及其制备方法,介电薄膜电容器包括柔性氟晶云母衬底、SrTiO3层、La0.67Sr0.33MnO3层、BaZr0.55Ti0.45O3层和上电极,SrTiO3层设置于柔性氟晶云母衬底表面,La0.67Sr0.33MnO3层设置于SrTiO3层表面,BaZr0.55Ti0.45O3层设置于La0.67Sr0.33MnO3层表面,上电极设置于BaZr0.55Ti0.45O3层表面;本发明的无铅柔性的介电薄膜电容器有着可观的储能特性兼备优良热稳定性,能够用于介电储能的嵌入式电容电路中。
搜索关键词: 一种 宽温高储能 柔性 薄膜 电容器 及其 制备 方法
【主权项】:
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