[发明专利]带电粒子束装置、用于带电粒子束装置的孔布置和用于操作带电粒子束装置的方法有效
| 申请号： | 201810989576.3 | 申请日： | 2018-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN109427524B | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 于尔根·弗洛森 | 申请（专利权）人： | ICT集成电路测试股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26;H01J37/28;H01J37/147 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;吴启超 |
| 地址： | 德国巴*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开内容提供一种带电粒子束装置(100)。带电粒子束装置(100)包括：带电粒子源(20)，经配置以发射带电粒子束(14)；聚光透镜布置(110)；孔布置(120)，经配置以产生带电粒子束(14)的两个或更多个小束，其中孔布置(120)包括多个第一开口和与多个第一开口不同的多个第二开口；和多极布置(130)，经配置以作用在两个或更多个小束上。孔布置(120)经配置以使多个第一开口或多个第二开口与多极布置(130)对准。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 装置 用于 布置 操作 方法 | ||
【主权项】：
1.一种带电粒子束装置，包括：带电粒子源，经配置以发射带电粒子束；聚光透镜布置；孔布置，经配置以产生所述带电粒子束的两个或更多个小束，其中所述孔布置包括多个第一开口和与所述多个第一开口不同的多个第二开口；和多极布置，经配置以作用在所述两个或更多个小束上，其中所述孔布置经配置以使所述多个第一开口或所述多个第二开口与所述多极布置对准。
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