[发明专利]晶硅太阳能电池管式PECVD预热储舟装置及镀膜方法

摘要

本发明涉及一种晶硅太阳能电池管式PECVD预热储舟装置及镀膜方法，取消原储舟架，在原储舟架位置及同一直线上增加传动轨道A和传动轨道B，传动轨道B正上方装有预热储舟箱，传动托盘在两个轨道之间滑动。工作时，传动托盘先位于轨道A上，机械臂将石墨舟装到传动托盘上，传动托盘携带石墨舟运送至轨道B上装载到预热储舟箱内，在箱内利用等待空管的时间对石墨舟预热，同时利用空气中的氧气对硅片氧化，可节省刻蚀下料处的臭氧氧化工序，待有空管时，传动托盘及石墨舟被传送至轨道A上，之后进入空管镀膜。由于石墨舟已经提前预热并氧化，使镀膜工艺省去了原有的升温步骤，管内整个工艺周期缩短了13.7min左右，产量提升了50％。

主权项

1.一种晶硅太阳能电池管式PECVD预热储舟装置，其特征在于包括传动轨道A、传动轨道B、第一固定架、第二固定架、传动托盘，其中，传动轨道A固定于第一固定架，传动轨道B固定于第二固定架，且该传动轨道A和传动轨道B的中心轴线位于同一条直线上；所述的传动轨道A上设置有多个传动滚轴(3)，多个传动滚轴均匀排布，每个传动滚轴的一端均连接有传动齿轮(4)，传动轨道B与传动轨道A的结构相同；所述的传动齿轮(4)与动力机构连接，每个传动轨道外设置一套动力机构，动力机构带动传动齿轮转动，传动齿轮带动传动滚轴转动，且传动轨道A与传动轨道B上的传动滚轴同步转动；所述的传动轨道B上还固定有预热储舟箱(5)，该预热储舟箱为一个半封闭的箱体，箱体左侧面封闭，右侧面及底面敞开，预热储舟箱固定到传动轨道B上后与传动轨道B的接触面之间形成密封，该预热储舟箱外层为保护壳(5.1)，内层为石英玻璃层(5.3)，中间层为耐火材料及隔热层(5.2)；所述的传动托盘上设置有2个石墨舟固定架(10)；传动托盘的一端还固定有一箱门(12)，该箱门为预热储舟箱的右侧箱门，当石墨舟随传动托盘在传动滚轴的作用下从传动轨道A完全进入传动轨道B及预热储舟箱内后，该箱门将预热储舟箱右侧封闭，石墨舟处于预热储舟箱和传动托盘形成的密闭腔体内。